供应 鹏城半导体 热丝CVD金刚石制备设备详细介绍

研发设计制造了热丝

可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。

工件尺寸

圆形平面工作的尺寸：φ650mm。

矩形工作尺寸的宽度1000mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1500mm）。

配置水冷样品台。

热丝电源功率

可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）

设备安全性

-电力系统的检测与保护

-设置真空检测与报警保护功能

-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护

-设置水压检测与报警保护装置

-设置水流检测报警装置

设备构成

真空室构成

双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。

热丝

热丝材料：钽丝、或钨丝

热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调

热丝不塌腰（解决了热丝长时间加热塌腰的问题）

样品台

可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。

工作气路（CVD）

工作气路根据用户工艺要求配置：

下面气体配置是某一用户的配置案例。

H2(5000sccm，浓度*100*%)

CH4(200sccm，浓度*100*%)

B2H6（50sccm，H2浓度99*%）

Ar(1000sccm，浓度00%)

真空获得及测量系统

控制系统及软件

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